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GBRC Newsletter No.711


カテゴリー: 2017年07月17日
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Global Business Research Center Newsletter
GBRCニューズレター No.711  2017年7月17日号 (ほぼ毎週・月曜日発行)
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今週の目次

☆GBRCニュース 今週のABAS早期公開論文
 Takahashi, N., & Kikuchi, H. (2017). 
 Rayleigh criterion: The paradigm of photolithography equipment.

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☆GBRCニュース 今週のABAS早期公開論文
 Takahashi, N., & Kikuchi, H. (2017). 
 Rayleigh criterion: The paradigm of photolithography equipment.
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Annals of Business Administrative Science (ABAS)は、独立行政法人科学技
術振興機構(JST)の電子ジャーナル・サイトJ-STAGEの早期公開機能を導入して
います。「ABASの日本語サイト」
http://www.gbrc.jp/journal/abasjp/
には、日本語の要約も掲載され、早期公開版のダウンロードも可能です。
早期公開は論文採択後できるだけ速やかに行われますので、早期公開版の公開は
不定期になります。ということで、今週は次の論文が早期公開されました。
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Takahashi, N., & Kikuchi, H. (2017). 
Rayleigh criterion: The paradigm of photolithography equipment.
Annals of Business Administrative Science, 16.
doi: 10.7880/abas.0170525a
http://doi.org/10.7880/abas.0170525a
Download (Available online July 13, 2017)

かつて半導体の光露光装置は、Rayleigh criterionを使って、解像度で技術的限
界を迎えると予想されていた。ところが実際には、【鏡系/等倍/一括露光】か
ら【レンズ系/縮小/分割露光】へとアーキテクチャが変わると、予想された解
像度の限界を超えて光露光装置の微細化が進んだ。限界を予想した際に用いた
Rayleigh criterionを専門家達が繰り返し使い、今度は、解像度向上の方策につ
いての “a set of recurrent and quasi-standard illustrations”が行われる。
Rayleigh criterionこそ、Kuhn (1962)が “community’s paradigm”と呼んだ
ものの典型であり、Rayleigh criterionに則って (a) NAを大きく、(b) 波長を
短く、(c) k1 factorを小さくすることで解像度向上が実現されてきた。
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とりあえず論文の内容を日本語で紹介しますが、著者本人による公式の要約では
ないので、ご注意ください。正確に内容をお知りになりたい方は、ぜひ英語の論
文をダウンロードして、読まれることをお勧めします。
https://www.jstage.jst.go.jp/article/abas/advpub/0/advpub_0161125a/_article
J-STAGEの「早期公開」(Advance Publication)は、巻・号・ページ等の書誌情報
が未確定の論文を公開できる機能です。早期公開版も本公開版も同じDOIが付与
され、同一の論文として扱われ、Google Scholarにもデータが提供されます。

早期公開された論文は2ヶ月に1号のペースでまとめて、巻・号・ページ等を
確定してからJ-STAGEで本公開するとともに、学術論文を中心とした学術情報を
検索して利用できる世界的なオンライン・データベースEBSCO host (有料)、
ProQuest (有料)にも逐次収録されて、全文ダウンロードが可能となります。

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編集/発行
特定非営利活動法人 グローバルビジネスリサーチセンター (略称:GBRC)
メール・アドレス: info@gbrc.jp  URL: http://www.gbrc.jp/
配信登録・解除・バックナンバー: http://www.gbrc.jp/newsletter/

Copyright (c)2017 Global Business Research Center. All rights reserved.
このニューズレターに掲載された記事を許可なく使用することを禁じます。
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